Jonas Sundqvist in seinem Haus in Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt
Experten skizzieren in Dresden Grenzen und neue Wege für Sachsens Mikroelektronik
Dresden, 18.08.26. Wie weit lassen sich die Grenzen der klassischen Mikroelektronik hinausschieben, bevor die Chipfabriken auf ganz andere Produktionstechnologien umsteigen müssen? Behält das holländisch-deutsche Duo ASML und Carl Zeiss noch auf Jahre in einer monopolartigen Stellung – oder laufen Chinesen, Schweden oder ganz andere Akteure diesen beiden Halbleiterfabrik-Ausrüstern den Rang ab? Diese und ähnliche Fragen wollen Mikroelektronik-Experten demnächst in den Technischen Sammlungen Dresden (TSD) diskutieren.
„EUV ist am Silicon Saxony bisher vorbeigegangen. Keine der Fabs ist als EUV-fähig konzipiert.“
Aus dem Veranstaltungs-Exposé der „Silicon Saxony Alumni“
„Silicon Saxony Alumni“ beleuchten Lithografie-Technologien
Eingeladen haben die „Silicon Saxony Alumni“ für ihren Themenabend „Technologien am physikalischen Limit heute, Ansätze für morgen“ am 25. August 2026 zwei ausgewiesene Experten als Referenten: Zunächst skizziert der frühere Lithografie-Experte Rolf Seltmann von „Globalfoundries“ ab 17 Uhr die Möglichkeiten, die klassische Chipmaskenbelichtung unterhalb der Extrem-Ultraviolett-Schwelle (EUV) noch heute bieten. Seinen Vortrag widmet er daher der „193-nm-Lithografie in der Bauelementeproduktion“. Danach stellt Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist eine neue Spalt- und Ätz-Technologie vor, mit der schwedische und sächsische Forscher auch ohne die sehr teuren EUV-Anlagen aus den Niederlanden in eine Welt vorstoßen, in der Strukturbreiten nicht mehr in nanometern, sondern in der kleineren Einheit „Ångström“ gemessen werden. In diesem Zuge stellt der in Sachsen lebenden Finnenschwede in Dresden das Konzept „Atomic Pitch Splitting (APS) – Eine neue Generation der Halbleiterstrukturierung“ vor. Dann will er mit dem Publikum diskutieren, „welchen Beitrag APS zu einer wirtschaftlicheren, nachhaltigeren und leistungsfähigeren Halbleiterfertigung im Ångström-Zeitalter leisten kann“.
Zuvor hatten die „Silicon Saxony Alumni“ bereits die Schlüsselrolle von Carl Zeiss für die Ausrüstung der modernsten Chipfabriken weltweit beleuchtet: Der Optikkonzern aus Oberkochen und Jena stellt nämlich jene einzigartigen Röntgenspiegel her, ohne die keine EUV-Anlagen von ASML bei TSMC, Intel oder bei anderen Halbleiterriesen funktionieren würden.
Der Eintritt zur Veranstaltung ist frei, bedarf allerdings vorheriger Anmeldung über die Alumni-Seiten des Branchenverbandes „Silicon Saxony.“ Zu finden ist die Anmelde-Seite hier.
Autor: Heiko Weckbrodt
Quellen: Silicon Saxony Alumni, Oiger-Archiv