Die Fabrik von Zeiss SMT in Coswig nahe Dresden. Foto: Zeiss
Ehemaliger Raumfahrt-Zulieferer steuert nun Spezialspiegel für weltweit gefragte Chipbelichter
Dresden/Coswig, 19.08.26. Zeiss will womöglich im Herbst zumindest einen Teil seiner Dresdner Software-Entwicklung ins sächsische Coswig verlagern. Das geht aus uns vorliegenden Informationen hervor. Demnach soll wenigstens ein Entwicklerteam von „Zeiss Digital Innovation“ (ZDI) in die Coswiger Niederlassung von „Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology“ (SMT) umziehen. Der Oberkochener Optik-Konzern selbst reagierte nicht auf unsere Bitte um eine Stellungnahme.
Spezialspiegel von Zeiss für die EUV-NA-Belichter von ASML. Foto: Zeiss SMT
Aktuatoren lenken DUV- und EUV-Spiegel
Hintergrund: Zeiss hat die ehemalige Ruag-Niederlassung seit der Übernahme vor zwei Jahren neu ausgerichtet und in hohem Maße auf jene Aktuatoren spezialisiert, die die Spezialspiegel in Chipbelichtungs-Anlagen des niederländischen Halbleiterfabrik-Ausrüsters „ASML“ steuern. Diese Spiegel gelten als Schlüsselbauteil, um überhaupt Schaltkreise der neuesten Generationen weltweit herstellen zu können. Dabei geht es sowohl um Lithografie-Anlagen, die noch mit klassischen Optiklösungen mit tiefem Ultraviolett-Licht (DUV) wie auch neueste Extrem-Ultraviolett-Systeme (EUV). Ein Teil des ZDI-Teams in Dresden wiederum entwickelt Computerprogramme für die Coswiger Aktuator-Spiegelsteuerungen. Insofern liegt der Gedanke nahe, Soft- und Hardware an einem Ort zu bündeln.
In Coswig stellte „Beyond Gravity“ Mechaniken und Elektronik für die Raumfahrt her. Foto: Beyond Gravity
Regional gewachsener Anlagenbauer landete erst bei Ruag, dann bei Zeiss
Der Standort in Coswig gehörte ursprünglich dem lokalen Mittelständler „Hoch Technologie Systeme“ (HTS), der sich unter anderem als Raumfahrtzulieferer profiliert hatte. 2016 übernahm der staatliche Schweizer Rüstungskonzern Ruag die Coswiger Fabrik, gliederte sie dann aber 2022 an seine Raumfahrt-Sparte „Beyond Gravity“ aus. Im Dezember 2024 verkauften die Eidgenossen diese Fabrik, die sich inzwischen auch auf Zulieferungen für die Halbleiterindustrie spezialisiert hatte, an Zeiss. Die Oberkochener wiederum beenden die Produktion von Satellitenkomponenten in Coswig und eichten das 63-köpfige Kollektiv in der Regie der „SMT“-Sparte ganz auf die Aktuatoren für die Litho-Spiegel und ähnliche Systeme.
Die „Zeiss Digital Innovation“ in Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt
Zeiss ist mehrfach im Raum Dresden vertreten. Dazu gehören die ehemalige Raumfahrttechnik-Fabrik in Coswig, ein medizintechnischer „Zeiss Innovations Hub“ auf dem Uniklinik-Campus sowie die ehemalige Dresdner Softwareschmiede „Saxonia Systems“. Letztere firmiert seit der Übernahme 2020 als „Zeiss ZDI“ nahe am TU-Campus Süd und hatte dort auch bereits Erweiterungspläne vorgestellt.
Autor: Heiko Weckbrodt
Quellen: vertrauliche Quellen, Oiger-Archiv