Schwerlaster bringen solche 78 Tonnen schweren Kältekammern zu den Dresdner Chipfabriken. Foto: Air Liquide Electronics
78 Tonnen schwere Kältekammern kommen nachts vom Hafen nach Klotzsche
Dresden, 20. Mai 2025. Damit sich Halbleiter-Werke wie die neue Infineon-Fabrik im Dresdner Norden selbst mit Stickstoff für die Chipproduktion versorgen können, brauchen sie Luftzerleger. Diese riesigen Anlagen spalten das Gas aus der Atmosphäre ab und leiten es in den Betrieb hinein. Als Herzstücke dienen dabei große Kältekammern. Zwei solcher 78 Tonnen schweren und knapp 30 Meter langen „Coldboxen“ machen sich in der Nacht zum Donnerstag per Schwerlasttransporter auf den Weg vom Dresdner Alberthafen über den Flügelweg, die Autobahn und den Moritzburger Weg bis zu ihrem Bestimmungsort an der Königsbrücker Straße in Klotzsche. In diesem Zuge wird es zeitweise nächtliche Straßensperrungen auf dieser Route geben, kündigte der Chipfabrik-Zulieferer „Air Liquide Electronics“ aus Ottendorf-Okrilla nun an.
Halbleiterwerke saugen sich ihre Prozessgase aus der Luft
Hintergrund: Für die Chipproduktion brauchen Halbleiterfabriken zahlreiche hochreine Prozess- und Hilfsgase. Dazu gehören unter anderem Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff, Argon und Helium. Um den stetigen Nachschub kümmern sich Industriegas-Spezialisten wie eben Air Liquide oder Linde. Damit der enorme Ressourcenhunger der Giga-Fabs aber nicht zu schwier endlosen Lkw-Kolonnen auf den Zulieferstraßen führt, ist die Branche dazu übergangen, Luftzerleger gleich vor Ort zu installieren. Sie saugen Umgebungsluft an, reinigen und verdichten sie. Kältekammern kühlen dabei die Gase auf -196 Grad Celsius ab. Die Anlagen leiten die hochrein aufbereiteten Prozessgase dann in die Fabrik. Air Liquide hatte die nun angelieferten „Coldboxen“ zunächst an unterschiedlichen Standorten weltweit vorgefertigt und in den vergangenen Monaten unter anderem per Schiff zur Endmontage nach Dresden gebracht.
Autor: hw
Quellen: Air Liquide Electronics, Silicon Saxony, Wikipedia
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