Blick in eine Abgas-Reinigungsanlage der Dresdner Firma „DAS Environmental Expert“. Foto: Heiko Weckbrodt
Ökotrend in der Mikroelektronik beschert Dresdner Umwelttechnik-Unternehmen neue Aufträge
Dresden, 4. August 2025. Immer mehr Chipfabriken weltweit wollen ihre Prozessabgase und Abwässer umweltfreundlicher als bisher säubern und aufbereiten: Weg vom Erdgas und hin zu Reinigungslösungen auf Basis vom Strom, Plasma oder Wasserstoff lautet die Devise. Dieser Trend beschert dem Dresdner Umwelttechnologie-Unternehmen „DAS Environmental Experts“ neue Aufträge und sorgt für Innovationen. Das hat DAS-Manager Stephan Raithel eingeschätzt.
Druck von Kunden, Aktionären und Regierungen auf Halbleiter-Branche
„Große Auftraggeber wie Apple fordern das von ihren Auftragsfertigern“, nennt er einen wichtigen Markttreiber für den Trend weg von fossilen Energieträgern in der Hochtechnologie. Zudem setzen Regierungen, Aktionäre und Staatenbünde wie die EU die vielerorts hochsubventionierte Mikroelektronik-Industrie unter Druck, ihren hohen Ressourcenverbrauch und die daraus erwachsenden Umweltbelastungen zu zügeln.
Dieses Archivfoto zeigt DAS-Gründer Horst Reichardt. Foto: Heiko Weckbrodt
DAS-Gründer Reichardt ging Problem schon zu DDR-Zeiten an
Hintergrund: Halbleiter Fabriken benötigen einerseits viel Strom, Wasser, Erdgas, hochreine Prozessgase und andere Zulieferungen, erzeugen anderseits als Nebeneffekt der Schaltkreis-Produktion viele umweltschädliche, teils auch gifte Gase, müssen zudem enorme Mengen Abwasser letztlich wieder aufbereiten. Dass dies ein wachsendes Problem für die gesamte Chipindustrie werden würde, erkannten der Physiker Horst Reichardt und seine Kollegen in den Dresdner Mikroelektronik-Betrieben ZMD und Elektromat bereits in den 1980er Jahren. Bereits zu DDR-Zeiten entwickelten sie Abgas-Reinigungssysteme für Chipfabriken.
Trend geht zu Strom, Plasma und Wasserstoff für die Abgas-Behandlung
Nach der Wende gründete Reichardt auf dieser Basis eine eigene Firma, die damals noch als „Dünnschicht-Anlagen-Systeme“ (DAS) firmierte. Über die Jahre hinweg wuchs das Unternehmen zu einem renommierten Umwelttechnik-Unternehmen, das Chipfabriken und andere Industrieanlagen in fast jedem Land der Welt mit Abgas- und Abwasserreinigungs-Anlagen beliefert. Die Belegschaft umfasst inzwischen unter der Führung von Gründer-Sohn René Reichardt rund 950 Beschäftigte an zehn Standorten weltweit. Zuletzt habe sich die Produktion noch einmal verdoppelt, informiert Raithel. Denn längst gehören auch die ganz Großen der Halbleiterindustrie in Taiwan, den USA, Japan, China und anderswo zu den Kunden der Dresdner.
Und in den Halbleiterfabriken dieser Kunden ist eben ein Wandel im Gange: Die Japaner zum Beispiel nehmen gerade einen milliardenschwer dotierten Anlauf, den verlorenen Status als führende Mikroelektronik-Nation zurückzugewinnen – und setzen in ihren neuen Chipfabriken nun oft auf Wasserstoff statt Erdgas, um giftige oder umweltschädliche Abgase zu verbrennen beziehungsweise in harmlose Verbindungen zu zerlegen. Auch Europa befindet sich in einer hochsubventionierten Aufholjagd, setzt in neuen Chipfabriken aber auch gerne auf strom- und plasmabasierte Abgas-Reiniger als Alternative zum russischen Erdgas. Ein Beispiel dafür ist die neue Chip-Fabrik 4 von Infineon in Dresden, die europaweit Maßstäbe für eine umweltfreundliche Halbleiterproduktion setzen soll, wenn sie ab 2026 schrittweise hochfährt.
Stephan Raithel. Archivfoto: SEMI
„Unsere Anlagen halten 20 Jahre und länger“
DAS-Manager Stephan Raithel
Und in vielen Fällen kommen die Öko-Reinigungsanlagen eben von der DAS, die mit ihren Innovationen zu den weltweiten Technologieführern in diesem Marktsegment gehören. Zudem haben die Aggregate „Made in Saxony“ weltweit auch einen guten Ruf für ihre besondere Qualität. „Unsere Anlagen halten 20 Jahre und länger“, betont DAS-Manager Raithel.
Autor: Heiko Weckbrodt
Quellen: Auskünfte Raithel/DAS, Oiger-Archiv, Wikipedia, Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD), Fraunhofer-Gesellschaft
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