{"id":1245457,"date":"2026-08-18T19:29:18","date_gmt":"2026-08-18T19:29:18","guid":{"rendered":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/1245457\/"},"modified":"2026-08-18T19:29:18","modified_gmt":"2026-08-18T19:29:18","slug":"weg-jenseits-von-extrem-ultraviolett-in-die-angstroemwelt","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/1245457\/","title":{"rendered":"Weg jenseits von Extrem-Ultraviolett in die \u00c5ngstr\u00f6mwelt?"},"content":{"rendered":"

\t\"Jonas<\/a>Jonas Sundqvist in seinem Haus in Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt
\nExperten skizzieren in Dresden Grenzen und neue Wege f\u00fcr Sachsens Mikroelektronik<\/p>\n

Dresden<\/strong>, 18.08.26. Wie weit lassen sich die Grenzen der klassischen Mikroelektronik hinausschieben, bevor die Chipfabriken auf ganz andere Produktionstechnologien umsteigen m\u00fcssen? Beh\u00e4lt das holl\u00e4ndisch-deutsche Duo ASML und Carl Zeiss noch auf Jahre in einer monopolartigen Stellung \u2013 oder laufen Chinesen, Schweden oder ganz andere Akteure diesen beiden Halbleiterfabrik-Ausr\u00fcstern den Rang ab? Diese und \u00e4hnliche Fragen wollen Mikroelektronik-Experten demn\u00e4chst in den Technischen Sammlungen Dresden (TSD) diskutieren.<\/p>\n

\n

\u201eEUV ist am Silicon Saxony bisher vorbeigegangen. Keine der Fabs ist als EUV-f\u00e4hig konzipiert.\u201c
<\/strong>Aus dem Veranstaltungs-Expos\u00e9 der \u201eSilicon Saxony Alumni\u201c<\/p>\n<\/blockquote>\n

\u201eSilicon Saxony Alumni\u201c beleuchten Lithografie-Technologien<\/p>\n

Eingeladen haben die \u201eSilicon Saxony Alumni\u201c f\u00fcr ihren Themenabend \u201eTechnologien am physikalischen Limit heute, Ans\u00e4tze f\u00fcr morgen\u201c am 25. August 2026 zwei ausgewiesene Experten als Referenten: Zun\u00e4chst skizziert der fr\u00fchere Lithografie-Experte Rolf Seltmann von \u201eGlobalfoundries\u201c ab 17 Uhr die M\u00f6glichkeiten, die klassische Chipmaskenbelichtung unterhalb der Extrem-Ultraviolett-Schwelle (EUV) noch heute bieten. Seinen Vortrag widmet er daher der \u201e193-nm-Lithografie in der Bauelementeproduktion\u201c. Danach stellt Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist eine neue Spalt- und \u00c4tz-Technologie vor, mit der schwedische und s\u00e4chsische Forscher auch ohne die sehr teuren EUV-Anlagen aus den Niederlanden in eine Welt vorsto\u00dfen, in der Strukturbreiten nicht mehr in nanometern, sondern in der kleineren Einheit \u201e\u00c5ngstr\u00f6m\u201c gemessen werden. In diesem Zuge stellt der in Sachsen lebenden Finnenschwede in Dresden das Konzept \u201eAtomic Pitch Splitting (APS) \u2013 Eine neue Generation der Halbleiterstrukturierung\u201c vor. Dann will er mit dem Publikum diskutieren, \u201ewelchen Beitrag APS zu einer wirtschaftlicheren, nachhaltigeren und leistungsf\u00e4higeren Halbleiterfertigung im \u00c5ngstr\u00f6m-Zeitalter leisten kann\u201c.<\/p>\n

Zuvor hatten die \u201eSilicon Saxony Alumni\u201c bereits die Schl\u00fcsselrolle von Carl Zeiss f\u00fcr die Ausr\u00fcstung der modernsten Chipfabriken<\/a> weltweit beleuchtet: Der Optikkonzern aus Oberkochen und Jena stellt n\u00e4mlich jene einzigartigen R\u00f6ntgenspiegel her, ohne die keine EUV-Anlagen von ASML bei TSMC, Intel oder bei anderen Halbleiterriesen funktionieren w\u00fcrden.<\/p>\n

Der Eintritt zur Veranstaltung ist frei, bedarf allerdings vorheriger Anmeldung \u00fcber die Alumni-Seiten des Branchenverbandes \u201eSilicon Saxony.\u201c Zu finden ist die Anmelde-Seite hier<\/a>.<\/p>\n

Autor: Heiko Weckbrodt<\/a><\/p>\n

Quellen: Silicon Saxony Alumni, Oiger-Archiv<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"Jonas Sundqvist in seinem Haus in Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt Experten skizzieren in Dresden Grenzen und neue Wege…\n","protected":false},"author":2,"featured_media":1245458,"comment_status":"","ping_status":"","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":"","_share_on_mastodon":"0"},"categories":[1835],"tags":[258035,258036,3364,29,2386,238853,30,57269,839,258037,258038,859,258039,258040],"class_list":["post-1245457","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","category-dresden","tag-alixlabs","tag-aps","tag-de","tag-deutschland","tag-dresden","tag-euv","tag-germany","tag-globalfoundries","tag-lithografie","tag-mikrotechnologie","tag-nanowelt","tag-sachsen","tag-silicon-saxony-alumni","tag-technische-sammlungen"],"share_on_mastodon":{"url":"","error":""},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1245457","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/2"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1245457"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1245457\/revisions"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1245458"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1245457"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1245457"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.europesays.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1245457"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}