ASML podnosi moc źródła światła EUV do 1000 W. Przepustowość fabryk wzrośnie o 50 proc. do 2030 roku

ASML zaprezentował technologię, która może na dobre zakończyć dyskusje o konkurencji ze strony amerykańskich i chińskich startupów. Inżynierom z kalifornijskiego ośrodka badawczego firmy udało się zwiększyć moc źródła światła EUV z obecnych 600 do 1000 watów, co przekłada się na potencjalny wzrost przepustowości fabryk chipów nawet o 50 proc. do końca dekady. To nie laboratoryjny eksperyment, ale gotowe rozwiązanie spełniające wszystkie wymagania produkcyjne.

ASML udowadnia, że jego monopol w litografii EUV nie jest przypadkowy. Nowa technologia źródła światła o mocy 1000 W może podnieść produkcję chipów o połowę i na lata zabezpieczyć przewagę nad startupami ze Stanów Zjednoczonych i Chin.

Intel może planować odejście od hybrydowej konstrukcji procesorów, wskazuje na to pewna oferta pracy w Unified Core

Kluczem do tego sukcesu ASML okazało się podwojenie liczby kropelek stopionej cyny wystrzeliwanych przez komorę, z 50 do 100 tys. na sekundę, oraz zastąpienie pojedynczego impulsu laserowego kształtującego plazmę dwoma mniejszymi uderzeniami. W maszynach ASML strumień roztopionych kropelek cyny przelatuje przez próżniową komorę, gdzie potężny laser dwutlenku węgla podgrzewa je do temperatury wyższej niż powierzchnia Słońca, zamieniając w plazmę emitującą światło o długości fali 13,5 nanometra. To właśnie ta plazma, wychwytywana następnie przez precyzyjne układy optyczne niemieckiej firmy Carl Zeiss, umożliwia nanoszenie wzorów tranzystorów na wafel krzemowy pokryty fotorezystem. Większa moc źródła światła oznacza krótszy czas naświetlania, a co za tym idzie, więcej przetworzonych wafli na godzinę. Według Teuna van Gogha, wiceprezesa ASML odpowiedzialnego za linię maszyn NXE, klienci powinni być w stanie osiągnąć przepustowość około 330 wafli na godzinę do końca dekady, w porównaniu do obecnych 220.

Siedmiu inżynierów z Intel, Microchip i STMicroelectronics zakłada Polski Krzem. Cel to pierwszy komercyjny procesor w 2027 roku

Znaczenie tego przełomu wykracza poza same liczby. Gdy pojedyncza maszyna litograficzna kosztuje nawet 380 mln dolarów w przypadku najnowszych systemów High-NA EXE, a fabryka chipów wymaga inwestycji rzędu 10-20 mld dolarów, każdy procent wzrostu wydajności bezpośrednio przekłada się na obniżenie kosztów produkcji pojedynczego układu. Jest to szczególnie istotne w kontekście rosnących cen produkcji na najnowszych węzłach technologicznych. TSMC pobiera już około 30 tys. dolarów za pojedynczy wafel w procesie 2 nanometrów, podczas gdy 5-nanometrowe kosztują około 18 tys. ASML podkreśla, że użyte metody otwierają drogę do dalszego rozwoju. Firma widzi realną ścieżkę do osiągnięcia 1500, a nawet 2000 watów w przyszłości. Moment ogłoszenia nie jest przypadkowy. W USA startupy Substrate i xLight pozyskały setki milionów dolarów, w tym 150 milionów z rządowego programu CHIPS and Science Act, na rozwój alternatywnych technologii litograficznych. Chiny z kolei prowadzą narodowy projekt budowy własnych maszyn EUV. Jednak technologiczna przepaść między prototypami a działającymi systemami produkcyjnymi zdaje się pogłębiać z każdym kolejnym osiągnięciem holenderskiej firmy.

Źródło: Reuters