Ein Beispiel für den noch jungen Forschungsfokus auf nachhaltige Chips und Chipfabriken in Chemnitz: Ein Wafer, mit dem die TU umweltfreundlichere Ätzverfahren in der Halbleiterproduktion testet. Ein neuer Reinraum soll diese Spezialisierung demnächst vertiefen. Foto: Jacob Müller für die TUC
Kabinett sagt 68 Millionen Euro zu – Großprojekt soll Erzgebirge inmitten der VW-Krise helfen
Chemnitz, 25.08.26. Das sächsische Kabinett will bisher ungenutzte EU-Fördermittel in die Technische Universität Chemnitz (TUC) umleiten: Die knapp 68 Millionen Euro sollen einen neuen Chipforschungs-Reinraum im universitären „Zentrum für Mikro- und Nanotechnologie“ (ZfM) finanzieren. Das hat der sächsische Wissenschaftsminister Sebastian Gemkow (CDU) heute mitgeteilt und betont: „Vorbehaltlich der Zustimmung der Europäischen Kommission kann damit ein Großprojekt realisiert werden, von dem die gesamte Region Südwestsachsen profitiert.“
„Grüne“ Mikroelektronik auf die Agenda gesetzt
In dem Forschungs-Reinraum wollen die Chemnitzer Ingenieure und Wissenschaftler „nachhaltige Mikroelektronik und Sensortechnik“ entwickeln. Erst kürzlich hatte eine Studie für die gewerkschaftsnahe Boeckler-Stiftung eben solch eine neue Spezialisierung der europäischen Halbleiterindustrie auf „grüne“, also auf umweltfreundlich-ressourcensparende Chips und Chipfabriken empfohlen.
Enas-Chef Prof. Harald Kuhn. Foto: Heiko Weckbrodt
Reinraum ist auch für Fraunhofer und Mittelständler gedacht
Der Reinraum ist aber nicht nur für die Uni-Halbleiterforscher gedacht, sondern auch für das Chemnitzer Fraunhofer-Nanoelektronikinstitut „Enas“, das ZfM-Chef Prof. Harald Kuhn in Personalunion leitet. Das Enas wiederum beschäftigt sich bereits in Kooperation mit der TUC seit längerem mit Nachhaltigkeitsprojekten für die europäische Mikroelektronik, beispielsweise mit Ersatzstoffen für sogenannte PFAS-„Ewigkeits-Chemikalien“ oder mit umweltfreundlicheren Ätzprozessen. Aber auch für Projekte von regionalen Maschinenbauern, Autozulieferern, Medizintechnikfirmen und anderen Mittelständlern soll die Chiplinie nutzbar sein. Dahinter steckt die Hoffnung des Kabinetts, Südwestsachsen irgendwie aus der tiefen Krise heraus zu helfen, die durch die generelle deutsche Wirtschaftsflaute sowie speziell auch die VW-Misere vor allem in Zwickau, im Erzgebirge und in Dresden mitausgelöst wurde.
Wissenschaftsminister Sebastian Gemkow vor dem Fraunhofer CNT 2.0. Foto: Heiko Weckbrodt
Wissenschaftsminister Gemkow: „Großprojekt, von dem die gesamte Region Südwestsachsen profitiert.“
„Wir gestalten diesen Transformationsprozess über den Masterplan hinaus aktiv mit, damit neue Wertschöpfung entsteht und die Lebensqualität in Sachsen erhalten bleibt“, gelobt Minister Gemkow. Den erwähnten „Meisterplan“ für die Region hatte die sächsische Regierung bereits vor über einem Jahr versprochen. Auslöser war die VW-Krise, die das Autowerk Zwickau vom Stromer-Produktions-Vorzeigestandort zu einem Sorgenkind gemacht, die Serienproduktion in der Manufaktur Dresden beendet und dann Kettenreaktionen in der regionalen Zulieferindustrie ausgelöst hatte. Außer allerlei Themenrunden, Ideenwettbewerben und eher vagen Ankündigungen war jedoch bisher von diesem Meisterplan noch nicht viel Greifbares zu erkennen gewesen.
Gemkow „verkauft“ mit dem Forschungsreinraum an der TU Chemnitz nun ein ohnehin schon länger geplantes, aber bisher nicht finanziertes Projekt als flankierendes Vorhaben rund um den Meisterplan Südwestsachsen. Dieser Forschungsreinraum bietet zweifellos Chancen auf neue Produktlinien und Lückenschlüsse in der sächsischen Mikroelektronik. In welchem Maße er beispielsweise dem erzgebirgischen Autozulieferer mit leeren Auftragsbüchern hilft, bleibt abzuwarten.
Autor: Heiko Weckbrodt
Quellen: SMWK, Oiger-Archiv, TUC