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CChemnitz
Ein Beispiel für den noch jungen Forschungsfokus auf nachhaltige Chips und Chipfabriken in Chemnitz: Ein Wafer, mit dem die TU umweltfreundlichere Ätzverfahren in der Halbleiterproduktion testet. Ein neuer Reinraum soll diese Spezialisierung demnächst vertiefen. Foto: Jacob Müller für die TUC
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Uni-Reinraum für „grüne“ Chips entsteht in Chemnitz

  • 25.08.2026
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